자성유체(Magnetic Fluid) 씰

자성유체(Magnetic Fluid)는 균질한 초미립자(수 nm ~ 수 nm) 인 Ferrite 계열의 강자성체를 활용하여, 지방산과 같은 계면 활성제를 균일한 형상을 갖는 초미립자의 표면에 조밀하게 코팅한 후에 액체상의 용매중에 안정되게 분산시켜서 액체 자체가 자성을 갖도록 제조된 콜로이드 상태의 액체를 말한다.
자성을 뛰고 있는 콜로이드 액상(Colloid Liquid)을 자력, 중력, 원심력 등이 미치는 영향 지역에 놓아도, 분산체인 초미립 강자성체가 서로 엉키면서 웅축되거나 침강하는 형상이 발생되지 않고, 강자성체가 항상 분산되어 균질한 자성의 유지가 전제되어야 자성유체는 산업용 Seal 장치에서 완벽한 밀봉성과 내국성을 유지할 수 있다
또한 대분분 수입에 의존하는 반도체 장비에서 N2 가스가 외부로 누설되는 것을 완벽하게 차단하기 위해서는 자성유체를 이용한 밀봉체계 기술개발이 대단히
중요하다. 왜냐하면 공급된 N2 가스가 외부로 누설하게 되면 공급된 가스손실은 물론 웨이퍼의 세정기능에서도 문제점이 크게 대두되기 때문에 반도체 세정장치에서는 절대적으로 필요한 Seal 장치이고 또한 가장 신뢰성 높은 Seal 장치가 자성유체 Seal 이다